অপারেটিং ফ্রিকোয়েন্সি: | 2450MHz | আউটপুট শক্তি: | 0.1 ~ 6 kW ক্রমাগত সামঞ্জস্যযোগ্য |
---|---|---|---|
শক্তি স্থিতিশীলতা: | ±1% এর চেয়ে ভাল (@ রেট স্থিতি) | আউটপুট ওয়েভগাইড ইন্টারফেস: | BJ-26/22 FD-26/22 স্ট্যান্ডার্ড ফ্ল্যাঞ্জ সহ |
শক্তি প্রদান: | 380VAC/50Hz, 3-ফেজ 5-তার, 11kW | শীতল জল প্রবাহ: | 18L/মিনিট |
সিস্টেম স্ট্যান্ডিং ওয়েভ সহগ: | VSWR ≤ 1.5 | মাইক্রোওয়েভ ফুটো: | জাতীয় মান পূরণ করুন |
আকার এবং কাজ মোড: | Φ200 x 300 (H) TM মোড |
মাইক্রোওয়েভ জেনারেটর এবং সিস্টেম | অপারেটিং ফ্রিকোয়েন্সি | 2450MHz |
আউটপুট শক্তি | 0.1 ~ 6 kW ক্রমাগত সামঞ্জস্যযোগ্য | |
শক্তি স্থিতিশীলতা | ±1% এর চেয়ে ভাল (@ রেট স্থিতি) | |
আউটপুট ওয়েভগাইড ইন্টারফেস | BJ-26/22 FD-26/22 স্ট্যান্ডার্ড ফ্ল্যাঞ্জ সহ | |
শক্তি প্রদান | 380VAC/50Hz, 3-ফেজ 5-তার, 11kW | |
শীতল জল প্রবাহ | 18L/মিনিট | |
সিস্টেম স্ট্যান্ডিং ওয়েভ সহগ | VSWR ≤ 1.5 | |
মাইক্রোওয়েভ ফুটো | জাতীয় মান পূরণ করুন | |
মাইক্রোওয়েভ ভ্যাকুয়াম স্রাব চেম্বার | আকার এবং কাজ মোড | Φ200 x 300 (H) TM মোড |
কার্যকর জমা এলাকা | Φ50 মিমি | |
চাপ নিয়ন্ত্রণ পরিসীমা | 0.5KPa~30KPa | |
চাপ নিয়ন্ত্রণ নির্ভুলতা | ±15Pa | |
ভ্যাকুয়াম অধিগ্রহণ | একক স্ফটিক বৃদ্ধি | বৃদ্ধির হার 10-15μm/H, একক বৃদ্ধি বেধ ≥ 1.6 মিমি |
একক স্ফটিক গুণমান | খালি চোখের অধীনে প্রায় কোন ত্রুটি | |
শুন্য পদ্ধতি | ব্লোআউট মোড | N2 দিয়ে পূরণ করুন |
চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি | 8×10-4Pa এর চেয়ে ভালো | |
ভ্যাকুয়াম ফুটো হার | ≤10-9pA.m3/s | |
চাপ বৃদ্ধি | 24 ঘন্টা গড় চাপ বৃদ্ধি 1Pa/H এর চেয়ে কম |
গ্যাস ভর প্রবাহ সিস্টেম | সঠিকতা | 2%-100%FS, ইনলেটপ্রেশার 0.2-0.3Mpa |
গ্যাসের ধরন এবং পরিসীমা | H2(1SLM),CH4(100SCCM),O2(10SCCM),N2(20SCCM) | |
নমুনা স্টেজ সিস্টেম | নমুনা পর্যায় ব্যাস | Φ60 মিমি, জল-ঠান্ডা; |
নমুনা সামঞ্জস্য পরিসীমা টেবিল |
0~15 মিমি | |
গহ্বর প্লেট সমন্বয় পরিসীমা | 0 ~ 60 মিমি | |
সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা পরিমাপ | ইনফ্রারেড তাপমাত্রা পরিমাপ পরিসীমা |
600~1200℃(ইনফ্রারেড তাপমাত্রা পরিমাপ) |
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ নির্ভুলতা | তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ নির্ভুলতা±5℃; | |
ধ্রুবক তাপমাত্রা এলাকার নিয়ন্ত্রণ পরিসীমা | মলিবডেনাম প্ল্যাটফর্মের প্রতিটি বিন্দুর তাপমাত্রার পার্থক্য≤30℃ | |
ডিভাইস ইন্টারফেস | ইনলেট এবং আউটলেট জল | G1" বাইরের তার |
গ্যাস সংযোগ | 1/4"ভিসিআর বাইরের তার | |
নিষ্কাশন স্রাব ইন্টারফেস | 3/4" বাইরের তার | |
শক্তি রেখা | TB4506 | |
অন্তরণ প্রতিরোধের | ≥5MΩ | |
নির্ভরযোগ্যতা | স্বাভাবিক অবস্থার অধীনে অবিচ্ছিন্ন এবং স্থিতিশীল কাজের সময় 24H এর কম হবে না | |
মোট বিদ্যুৎ সরবরাহ | 380VAC±5%/50Hz,3phase5wire,13kW | |
মোট শীতল জল | 34L/মিনিট, পরিষ্কার নরম জল, খাঁড়ি জলের তাপমাত্রা 20℃±5℃;জলের চাপ 0.2~0.4MPa | |
মাত্রা | ~1.95(L)x0.8(W)x1.90(H)m |